Dipartimento di Fisica Occhialini, Università degli Studi di Milano-Bicocca, Milano, Italy
Dipartimento di Fisica Occhialini, Università degli Studi di Milano-Bicocca, Milano, Italy
Center for Nano Science and Technology, Italian Institute of Technology, Milano, Italy
Dipartimento di Fisica Occhialini, Università degli Studi di Milano-Bicocca, Milano, Italy
Dipartimento di Fisica Occhialini, Università degli Studi di Milano-Bicocca, Milano, Italy
Copyright © 2012 Ilaria Biganzoli, Francesco Fumagalli, Fabio Di Fonzo, Ruggero Barni, Claudia Riccardi et al. This is
an open access article distributed under the Creative Commons Attribution
License, which permits unrestricted use, distribution, and reproduction in any
medium, provided the original work is properly cited.
How to Cite this Article
I. Biganzoli, F. Fumagalli, F. Fonzo, R. Barni and C. Riccardi, "A Supersonic Plasma Jet Source for Controlled and Efficient Thin Film Deposition,"
Journal of Modern Physics, Vol. 3 No. 10A, 2012, pp. 1626-1638. doi:
10.4236/jmp.2012.330200.